干凈的概念？按照國際慣例，無塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中直徑大于分類標準的顆粒物數(shù)量來定義的?？刂圃谝粋€非常小的單元中。與我們常見的灰塵相比，該標準中的灰塵顆粒非常小，但即使是一點點灰塵也會對光學結(jié)構(gòu)產(chǎn)生非常大的負面影響，所以無塵是光學結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)的必然要求。如果每立方米小于0.5微米的塵粒數(shù)控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應(yīng)用于芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對粉塵的要求比A級更高，這樣的高標準主要用于一些更高級別的芯片生產(chǎn)。細粉塵量嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

無塵車間是指在一定空間范圍內(nèi)消除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)的專門設(shè)計的房間。